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溅射离子泵 技术条件 JB/T 4082-91

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  • 标准语言：
    简体中文
  • 标准评级：
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  • 更新时间：
    2013-10-05
  • 应用平台：
    Win All
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标准介绍


溅射离子泵 技术条件 JB/T 4082-91
中华人民共和国机械行业标准
本标准规定了普通型式的溅射离子泵的技术要求、检验规则、试验方法、包装、贮存等。
本标准适用于JB/T 4081所规定的二级型和三级型的溅射离子泵。

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