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溅射离子泵型式与基本参数 JB/T 4081-91

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    简体中文
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  • 更新时间：
    2013-10-05
  • 应用平台：
    Win All
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标准介绍


溅射离子泵型式与基本参数 JB/T 4081-91
中华人民共和国机械行业标准
本标准规定了普通型式的溅射离子泵的型式与基本参数。
本标准适用于二电位的二极型和三极型溅射离子泵。

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