真空蒸发镀膜设备 JB/T 6922-2004本标 准 规 定了真空蒸发镀膜设备的型式和基本参数、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存等要求。本标 准 适 用于极限压力在5xIO '-Pa-5 x10 -3P a范围的真空蒸发镀膜设备(以下简称设备)