重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法 GB/T 14847-2010本标准规定重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法。本标准适用于衬底在23℃电阻率小于0.02 0·cm和外延层在23℃电阻率大干0.1 n·cm且外延层厚度大于2 pm的n型和P型硅外延层厚度的测量;在降低精度情况下,该方法原则上也适用于测试0.5time2tim之间的12型和P型外延层厚度。