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用低相干扫描干涉测量法的扫描误差校正

  • 专利类型:
    发明专利
  • 发  明  人:
    马克·戴维森 简·莱塞纳 彼得·德格鲁特 泽维尔·科洛纳德莱
  • 申  请  人:
    齐戈股份有限公司
  • 地        址:
    美国康涅狄格州
  • 状        态:
    公开
  • 文件大小:
    1.3 MB
  • 公  布  号:
    CN 102057269 A
  • 公  布  日:
    2011.05.11
  • 申  请  号:
    200980120703.5
  • 申  请  日:
    2009.11.23
  • 代理机构:
    北京市柳沈律师事务所 11105
  • 代  理  人:
    邱军
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专利介绍


一种设备包括宽带扫描干涉测量系统,该系统包括光学部件,用以结合来自测试物的测试光和参考光,而在探测器上形成干涉图案。该设备还包括配置为扫描从共用光源至探测器的、所述测试光和参考光之间的光程差(OPD) 的台,以及包括探测器的探测器系统,用以纪录一系列的光程差增量的每一者的干涉图案,每一个光程差增量的频率定义帧频。光学部件被配置以产生至少二个监测干涉测量信号,当扫描光程差时,干涉测量信号的每一者表示光程差的变化,探测器系统被配置以纪录监测干涉测量信号。该设备包括处理器,被配置以对于大于所述帧频的频率的OPD 增量,决定所述光程差增量对扰动灵敏度的信息。

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